金融界2024年1月24日音讯，据国家知识产权局公告，华海清科股份有限公司请求一项名为“一种晶圆清洗设备“，公开号CN117438339A，请求日期为2023年10月。

  专利摘要显现，本发明公开了一种晶圆清洗设备，其包含：箱体；夹持组织，设置于箱体中，以夹持待处理的晶圆；转速丈量组织，设置于箱体中，以丈量晶圆转速；所述转速丈量组织包含：检测件，其铰接于箱体中，所述检测件的一端装备有转轮，所述转轮可以抵接于晶圆外缘并感知晶圆缺口；传感器，其设置于检测件的另一端，以丈量检测件的摇摆信息，从而核算晶圆转速。